Novellus 機台改造 Upgrade 服務
湛康科技提供專業的 Novellus 半導體設備 Upgrade 機台改造服務，協助客戶因應製程需求變化，提升設備效能、穩定度與產線運作效率。我們熟悉多款 Novellus 主流設備平台，能依實際使用狀況規劃合適的升級方案。
本公司提供之 Novellus Tool Upgrade 服務，涵蓋多項關鍵系統與模組升級，包含製程模組、機構系統、控制元件與相關安全設計，協助設備符合現行製程條件並延長使用年限。
主要 Upgrade 項目包含：
- SPEED Toggle Clean Upgrade
- Novellus C2 MC3 Upgrade
- SPEED 2 Pressure Docking Port Upgrade
- Sequel RF Switch Upgrade
- Novellus MKS Throttle Upgrade
- Digital Water Flow Switch Upgrade
- MAG 7 Robot Upgrade
- Altus SiH4 Line Upgrade
透過完整的 Upgrade 規劃與專業施工流程，湛康科技能有效改善設備原有設計限制，降低故障風險，並提升整體製程穩定性。升級作業皆由具備豐富現場經驗的工程團隊執行，確保施工品質與時程控管。
憑藉多年半導體設備工程與改造經驗，湛康科技致力於為客戶提供穩定、可靠且具彈性的 Novellus Upgrade 解決方案，協助產線在既有設備基礎上持續創造更高效益。
如需進一步了解 Novellus 機台改造 Upgrade 相關服務，歡迎與湛康科技聯繫洽詢。